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产品分类
产品简介
1、机台采用进口劳士领板材,长期可工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防漏 。
2、滚筒内清洗,用于SIO2原料的清洗工艺。
3、可设计手动全自动运行设计,全自动运行方式采用两只机械手运行,更有效提高效率降低成本。
4、清洗能力:10-20kg/批
5、全方面的警报提示功能,防呆设计功能。
6、模组化设计,腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中,底盘 采用满焊接工艺加工而成,杜绝机台的渗漏危险。
7、后部排风和下沉式设计,排风区酸碱隔离,风量可调节,对操作员有安全 保护。
8、控制部分采用进口品牌PLC 和HMI.
9、设备槽位区配备 PTFE 材质 2 只纯水枪和 2 只氮气枪,方便操作员手工清 洗槽体或工件。
10、设备设计标准按半导体行业标准(SEMI-S2)执行,ISO9001质量管理体系进行规范和保证。
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